Каталог
Магнетронные распылительные системы : учебное пособие:в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Духопельников Д. В. Магнетронные распылительные системы : учебное пособие:в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение / Д.В. Духопельников. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. - 53 с. - ISBN 978-5-7038-3798-6. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/343714/reading (дата обращения: 19.04.2024). - Текст: электронный.