Базовые технологии микро- и наноэлектроники

Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника». Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе «высокая чистота материала — высокое качество продукции». Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники.
Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу «Технология материалов электронной техники». Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.

Воротынцев В. М. Базовые технологии микро- и наноэлектроники / В.М. Воротынцев, В.Д. Скупов. - Москва : Проспект, 2017. - 520 с. - ISBN 978-5-392-25297-8. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/356161/reading (дата обращения: 20.04.2024). - Текст: электронный.