Каталог
Методы литографии в наноинженерии
Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Макарчук В.В. Методы литографии в наноинженерии / В.В. Макарчук, И.А. Родионов, Ю.Б. Цветков. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3500-5. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/363837/reading (дата обращения: 20.04.2024). - Текст: электронный.