Каталог
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] — (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 31)
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)I(Al2O3)1 _x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNj, и нитрида Si3N4 кремния.
Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.
Асеев А.Л. Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] — (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 31) / А.Л. Асеев, В.А. Гриценко. - Новосибирск : СО РАН, 2011. - 158 с. - ISBN 978-5-7692-1183-6. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/371900/reading (дата обращения: 19.04.2024). - Текст: электронный.