8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (39733)
Высшее образование
Естественные науки (2581)
Естественные науки
Общественные науки (3173)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4253)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1409)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1360)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (634)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4332)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2771)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6046)
Гуманитарные науки
Экономика. Экономические науки (6619)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (3351)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (954)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (474)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (2819)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (43755)
Коллекции
Издательские коллекции (43332)
Издательские коллекции
Журналы (999)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. — 4-е издание, электрон.

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. — 4-е издание, электрон. ISBN 978-5-00101-814-8
ISBN 978-5-00101-814-8
Авторы: 
Королёв М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А.
Тип издания: 
Учебное пособие
Издательство: 
Москва: Лаборатория знаний
Год: 
2020
Количество страниц: 
400
Аннотация

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Королёв М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. — 4-е издание, электрон. / М.А. В, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 400 с. - ISBN 978-5-00101-814-8. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/372703/reading (дата обращения: 29.03.2024). - Текст: электронный.