Каталог
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. — 4-е издание, электрон.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Королёв М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. — 4-е издание, электрон. / М.А. В, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 400 с. - ISBN 978-5-00101-814-8. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/372703/reading (дата обращения: 29.03.2024). - Текст: электронный.