Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике

В книге представлено обобщение накопленного опыта по созданию методов входного и технологического контроля при разработке и производстве СВЧ транзисторов на основе широкозонных материалов, в частности, транзисторов на гетероструктурах типа AIGaN/GaN. Рассмотрены системы отечественных и зарубежных стандартов, на основе которых проводятся разработки СВЧ транзисторов. Подробно описаны физические основы гетероструктур, описаны свойства широкозонных полупроводников, методы изготовления СВЧ транзисторов. Детально анализируется технология производства транзисторов с учетом имеющегося опыта их реального изготовления. Рассмотрены электрические, оптические, рентгеновские, электронно-микроскопические и аналитические методы, которые применяются при входном и технологическом методах контроля. Рассмотрен опыт создания в ОАО «НПП «Пульсар» СВЧ транзисторов и СВЧ блоков на их основе.
Книга будет полезна специалистам в области электроники, исследователям, инженерам-практикам и разработчикам радиоэлектронной аппаратуры

Груздов В.В. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике / В.В. Груздов, Ю.В. Колковский, Ю.А. Концевой. - Москва : Техносфера, 2016. - 328 с. - ISBN 978-5-94836-426-1. - URL: http://new.ibooks.ru/bookshelf/353412/reading (дата обращения: 17.07.2025). - Текст: электронный.